發布時間：2023年04月03日 18時49分52秒

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　　與傳統傳感器相比微型傳感器它具有許多新的特性，可以彌補傳統傳感器的不足，同時具有廣泛的應用前景，越來越受到重視。本文詳細介紹了一些微型傳感器的結構和原理，闡述了微型傳感器的基本功能及它的特點。

　　微型傳感器所具備的功能及特點如下：

　　由于傳統傳感器材的制造工藝與半導體IC工藝不兼容，無論是功能、規模還是成本，都無法適應IC技能制造的高速、高密度、小體積、低成本信號處理設備，從而限制了整個系統的集成、批量和功能的充分發揮。

　　微型傳感器不是傳統傳感器的簡單物理縮小產品，而是通過MEMS加工技術制備的新一代傳感器材，它具有小型化、集成化的特點，具有新的工作機制和物化效應，可以大大提高傳感器的功能。信號傳輸前可以擴大信號，然后減少干擾和傳輸噪音提高信噪比，從而在芯片上集成反應線和補償線，可提高輸出的線性和頻響特性，從而減少錯誤，提高相應的靈敏度。

　　此外微型傳感器同時還具有陣列性，除了靈敏元件可以集成在一個芯片上以外，還具有擴大電路和補償線路的特點。并且可以在同一個芯片上集成多個相同的靈敏元件，兼容性突出等特點便于與微電子設備集成和包裝。

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