發(fā)布時(shí)間：2022年06月29日 18時(shí)43分31秒

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　　壓力傳感器可以采用不同的方法來(lái)制造，其三種常見(jiàn)的方法是自頂向下光刻，自底向上制造如可控橫向外延和原子層沉積以及自組裝壓力結(jié)構(gòu)通常使用脂質(zhì)體等生物分子，分析物的生化檢測(cè)將是轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。

　　方法1：自頂向下

　　自頂向下光刻是當(dāng)今大多數(shù)集成電路的制造方式，它涉及從一些較大的材料開(kāi)始然后雕刻出所需的形式，這些精心制作的設(shè)備尤其是那些用于帶有壓力傳感器的特定MEMS的設(shè)備，通常只有這種尺寸，但其中最新的已經(jīng)開(kāi)始包括發(fā)射器大小的組件。

　　方法二：自下而上

　　另外一種方法就是通過(guò)自下而上，該方法涉及將壓力傳感器組裝成更微小的組件最有可能是單個(gè)原子或分子，這將涉及到將特定物質(zhì)的原子一個(gè)一個(gè)地移動(dòng)到特定位置，盡管這是在實(shí)驗(yàn)室測(cè)試中使用原子力顯微鏡等工具實(shí)現(xiàn)的，但由于邏輯原因這仍然是一個(gè)很大的困難，尤其是在大規(guī)模生產(chǎn)和經(jīng)濟(jì)的情況下，這個(gè)過(guò)程主要就是用于構(gòu)建自組裝壓力傳感器的起始分子。

　　方法三：自組裝

　　第三種方法可以保證更快的結(jié)果它涉及自組裝壓力傳感器的特定壓力結(jié)構(gòu)，通常需要一整套已經(jīng)自動(dòng)組裝成成品的組件能夠在實(shí)驗(yàn)室中為所需的傳感器準(zhǔn)確復(fù)制這種效應(yīng)意味著科學(xué)家，可以通過(guò)讓大量分子在很少或沒(méi)有外部影響的情況下自行組裝，而不必手動(dòng)組裝每個(gè)壓力傳感器從而做得更快。

　　所以壓力傳感器與其他有用的技術(shù)即微機(jī)電MEMS系統(tǒng)及微流控設(shè)備相結(jié)合的趨勢(shì)越來(lái)越大。有用的例子包括將壓力信號(hào)施加到硅基板上，從而實(shí)現(xiàn)更有效的氣壓和液壓傳感應(yīng)用，用于檢測(cè)血液樣本中膽固醇的微流體裝置中的金納米線使用硅上碳納米管CNT檢測(cè)有害的痕量氨， 在基于流體的MEMS設(shè)備中檢測(cè)流體樣品中的微生物。

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